一種晶圓平整度自動測量裝置

基本信息

申請?zhí)?/td> CN201921425358.3 申請日 -
公開（公告）號 CN210375082U 公開（公告）日 2020-04-21
申請公布號 CN210375082U 申請公布日 2020-04-21
分類號 G01B21/30 分類 測量；測試;
發(fā)明人 肖迪;王鑫 申請（專利權(quán)）人 青島華芯晶電科技有限公司
代理機(jī)構(gòu) - 代理人 -
地址 266000 山東省青島市高新區(qū)河?xùn)|路383號
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本實用新型公開了一種晶圓平整度自動測量裝置，包括箱體和滾珠，所述箱體的內(nèi)部固定有轉(zhuǎn)動座，所述轉(zhuǎn)動座的頂部開設(shè)有轉(zhuǎn)動槽，所述轉(zhuǎn)動槽的內(nèi)部轉(zhuǎn)動連接有轉(zhuǎn)動塊，其中，所述轉(zhuǎn)動座靠近轉(zhuǎn)動塊的一側(cè)開設(shè)有滾珠槽。該晶圓平整度自動測量裝置，設(shè)置有測量探針和傳動電機(jī)，將晶圓放置在放置槽的內(nèi)部，電機(jī)帶動絲桿轉(zhuǎn)動，絲桿通過外螺紋帶動滑塊在滑槽內(nèi)向下移動，使滑塊帶動檢測頭向下移動，檢測頭帶動測量探針抵住晶圓，之后啟動傳動電機(jī)，傳動電機(jī)帶動第二齒輪轉(zhuǎn)動，第二齒輪通過嚙合帶動第一齒輪轉(zhuǎn)動，第一齒輪帶動轉(zhuǎn)動柱轉(zhuǎn)動，轉(zhuǎn)動柱通過安裝座帶動放置座轉(zhuǎn)動，使放置座帶動晶圓轉(zhuǎn)動，通過檢測測量探針的跳動范圍，便于對晶圓的平整度進(jìn)行檢測。