一種晶圓平整度自動(dòng)測量裝置

基本信息

申請?zhí)?/td> CN201921425358.3 申請日 -
公開（公告）號(hào) CN210375082U 公開（公告）日 2020-04-21
申請公布號(hào) CN210375082U 申請公布日 2020-04-21
分類號(hào) G01B21/30 分類 測量；測試;
發(fā)明人 肖迪;王鑫 申請（專利權(quán)）人 青島華芯晶電科技有限公司
代理機(jī)構(gòu) - 代理人 -
地址 266000 山東省青島市高新區(qū)河?xùn)|路383號(hào)
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本實(shí)用新型公開了一種晶圓平整度自動(dòng)測量裝置，包括箱體和滾珠，所述箱體的內(nèi)部固定有轉(zhuǎn)動(dòng)座，所述轉(zhuǎn)動(dòng)座的頂部開設(shè)有轉(zhuǎn)動(dòng)槽，所述轉(zhuǎn)動(dòng)槽的內(nèi)部轉(zhuǎn)動(dòng)連接有轉(zhuǎn)動(dòng)塊，其中，所述轉(zhuǎn)動(dòng)座靠近轉(zhuǎn)動(dòng)塊的一側(cè)開設(shè)有滾珠槽。該晶圓平整度自動(dòng)測量裝置，設(shè)置有測量探針和傳動(dòng)電機(jī)，將晶圓放置在放置槽的內(nèi)部，電機(jī)帶動(dòng)絲桿轉(zhuǎn)動(dòng)，絲桿通過外螺紋帶動(dòng)滑塊在滑槽內(nèi)向下移動(dòng)，使滑塊帶動(dòng)檢測頭向下移動(dòng)，檢測頭帶動(dòng)測量探針抵住晶圓，之后啟動(dòng)傳動(dòng)電機(jī)，傳動(dòng)電機(jī)帶動(dòng)第二齒輪轉(zhuǎn)動(dòng)，第二齒輪通過嚙合帶動(dòng)第一齒輪轉(zhuǎn)動(dòng)，第一齒輪帶動(dòng)轉(zhuǎn)動(dòng)柱轉(zhuǎn)動(dòng)，轉(zhuǎn)動(dòng)柱通過安裝座帶動(dòng)放置座轉(zhuǎn)動(dòng)，使放置座帶動(dòng)晶圓轉(zhuǎn)動(dòng)，通過檢測測量探針的跳動(dòng)范圍，便于對晶圓的平整度進(jìn)行檢測。