一種切割晶片噴淋裝置用噴嘴
基本信息
| 申請(qǐng)?zhí)?/td> | CN202022833024.9 | 申請(qǐng)日 | - |
| 公開(kāi)（公告）號(hào) | CN214000068U | 公開(kāi)（公告）日 | 2021-08-20 |
| 申請(qǐng)公布號(hào) | CN214000068U | 申請(qǐng)公布日 | 2021-08-20 |
| 分類號(hào) | B28D5/04（2006.01）I;B28D7/00（2006.01）I | 分類 | 加工水泥、黏土或石料; |
| 發(fā)明人 | 曲元瑗;樊海強(qiáng);王鼎;彭懷忠 | 申請(qǐng)（專利權(quán)）人 | 忻州中科晶電信息材料有限公司 |
| 代理機(jī)構(gòu) | 太原達(dá)引擎專利代理事務(wù)所（特殊普通合伙） | 代理人 | 朱世婷 |
| 地址 | 030000山西省忻州市開(kāi)發(fā)區(qū)（緯二街南,云中路西側(cè)） | ||
| 法律狀態(tài) | - | ||
摘要
| 摘要 | 本實(shí)用新型具體涉及一種切割晶片噴淋裝置用噴嘴，屬于半導(dǎo)體制造技術(shù)領(lǐng)域，所要解決的問(wèn)題是提供一種可以提高切割砂漿流量的均勻性的噴嘴，采用的方案為：外管同軸套設(shè)于內(nèi)管的外部，外管與內(nèi)管的端部通過(guò)堵頭密封固定，外管的一端固定有固定座，外管的下部設(shè)置有砂漿噴出的條形孔，內(nèi)管沿其軸向的上部?jī)蓚?cè)對(duì)稱設(shè)置有兩排噴孔，內(nèi)管上部豎直設(shè)置有多個(gè)砂漿入管，多個(gè)砂漿入管沿內(nèi)管軸向均勻分布，砂漿入管的下端與內(nèi)管連通，砂漿入管的上端貫穿外管的上壁延伸至外管外部，砂漿入管的上端用于輸入砂漿；本實(shí)用新型使晶片切割厚度均勻，提高晶片切割質(zhì)量。 |
