一種砷化鎵晶片片盒清洗裝置

基本信息

申請?zhí)?/td> CN202022773105.4 申請日 -
公開（公告）號 CN213915368U 公開（公告）日 2021-08-10
申請公布號 CN213915368U 申請公布日 2021-08-10
分類號 B08B9/36（2006.01）I;B08B9/34（2006.01）I;B08B9/32（2006.01）I;B08B13/00（2006.01）I;F26B21/00（2006.01）I 分類 清潔;
發(fā)明人 彭懷忠;樊海強;曲元瑗;王鼎 申請（專利權(quán)）人 忻州中科晶電信息材料有限公司
代理機構(gòu) 太原達引擎專利代理事務所（特殊普通合伙） 代理人 朱世婷
地址 030000山西省忻州市開發(fā)區(qū)（緯二街南,云中路西側(cè)）
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本實用新型具體涉及一種砷化鎵晶片片盒清洗裝置，屬于晶片片盒清洗技術(shù)領(lǐng)域，所要解決的問題是提供一種省力省時的砷化鎵晶片片盒清洗裝置，采用的方案為：清洗桶與多個控干桶呈環(huán)形均勻排列，控干桶外部設(shè)置有鼓風機，鼓風機與多個控干桶通過進氣管連通，支撐軸設(shè)置于清洗桶與多個控干桶圍合而成的環(huán)形中心，支撐軸可相對清洗桶自轉(zhuǎn)和升降，支撐軸上端連接有多個連接桿，連接桿數(shù)量與清洗桶、控干桶的數(shù)量之和一致，連接桿上均固定有片盒夾，片盒夾用于夾持片盒，清洗桶內(nèi)設(shè)置有用于清洗片盒內(nèi)部的片盒洗刷件；本實用新型使用方便，省工省時。