一種砷化鎵襯底專用清洗裝置

基本信息

申請(qǐng)?zhí)?/td> CN202022773081.2 申請(qǐng)日 -
公開(kāi)（公告）號(hào) CN213483720U 公開(kāi)（公告）日 2021-06-18
申請(qǐng)公布號(hào) CN213483720U 申請(qǐng)公布日 2021-06-18
分類號(hào) H01L21/67（2006.01）I;H01L21/02（2006.01）I 分類 基本電氣元件;
發(fā)明人 彭懷忠;樊海強(qiáng);曲元瑗;王鼎 申請(qǐng)（專利權(quán)）人 忻州中科晶電信息材料有限公司
代理機(jī)構(gòu) 太原達(dá)引擎專利代理事務(wù)所（特殊普通合伙） 代理人 朱世婷
地址 030000山西省忻州市開(kāi)發(fā)區(qū)（緯二街南,云中路西側(cè)）
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本實(shí)用新型具體涉及一種砷化鎵襯底專用清洗裝置，屬于砷化鎵襯底清洗技術(shù)領(lǐng)域，所要解決的問(wèn)題是提供一種快速的砷化鎵襯底專用清洗裝置，采用的方案為：酸洗槽、堿洗槽、清水槽和干燥槽由左向右依次設(shè)置，橫梁架設(shè)于槽體上方，橫梁上連接有可沿橫梁左右往復(fù)移動(dòng)的橫移架，橫移架上設(shè)置有橫移驅(qū)動(dòng)件，升降架滑動(dòng)連接于橫移架上，升降驅(qū)動(dòng)件用于驅(qū)動(dòng)升降架上下移動(dòng)，升降架的下部連接有并排設(shè)置的多個(gè)砷化鎵襯底架，砷化鎵襯底架與升降架均通過(guò)彈簧連接，多個(gè)彈簧通過(guò)水平設(shè)置的連接板相固定，連接板上連接有多個(gè)用于震動(dòng)連接板的震動(dòng)鼓錘；本實(shí)用新型不僅提高了砷化鎵襯底的清洗效率，且砷化鎵襯底清洗干凈徹底。