一種半導(dǎo)體質(zhì)量檢測(cè)裝置及方法

基本信息

申請(qǐng)?zhí)?/td> CN202111197547.1 申請(qǐng)日 -
公開(kāi)（公告）號(hào) CN113640314B 公開(kāi)（公告）日 2021-12-31
申請(qǐng)公布號(hào) CN113640314B 申請(qǐng)公布日 2021-12-31
分類號(hào) G01N21/95;G01R1/04;G01R31/26 分類 測(cè)量；測(cè)試;
發(fā)明人 張文臣 申請(qǐng)（專利權(quán)）人 深圳市賽元微電子股份有限公司
代理機(jī)構(gòu) 北京專贏專利代理有限公司 代理人 陳進(jìn)
地址 518000 廣東省深圳市南山區(qū)高新區(qū)南區(qū)粵興三道8號(hào)中國(guó)地質(zhì)大學(xué)產(chǎn)學(xué)研基地中地大樓B610
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明適用于半導(dǎo)體生產(chǎn)相關(guān)領(lǐng)域，提供了一種半導(dǎo)體質(zhì)量檢測(cè)裝置及方法，所述裝置包括上料帶、轉(zhuǎn)移機(jī)構(gòu)、視覺(jué)檢測(cè)設(shè)備和性能檢測(cè)機(jī)構(gòu)。上料帶將半導(dǎo)體元器件傳送至轉(zhuǎn)移機(jī)構(gòu)上，視覺(jué)檢測(cè)設(shè)備對(duì)半導(dǎo)體元器件的外觀進(jìn)行檢測(cè)之后，轉(zhuǎn)移機(jī)構(gòu)繼續(xù)將半導(dǎo)體元器件傳送至性能檢測(cè)機(jī)構(gòu)所在的位置，性能檢測(cè)機(jī)構(gòu)對(duì)半導(dǎo)體元器件的通電性能進(jìn)行檢測(cè)，經(jīng)過(guò)兩次質(zhì)檢，質(zhì)檢出外觀不合格或者性能不合格的產(chǎn)品，將不合格件和合格件分揀到不同的盛放容器中。該裝置能夠連續(xù)自主的對(duì)抽檢的樣品進(jìn)行質(zhì)檢，質(zhì)檢效率高，可以在與人工質(zhì)檢時(shí)間相同的情況下質(zhì)檢更多的樣品，使得抽檢數(shù)量與整批產(chǎn)品數(shù)量相匹配，達(dá)到統(tǒng)計(jì)學(xué)抽樣調(diào)查的基準(zhǔn)。