一種多官能單體化合物及其制備方法和感光性樹脂組合物

基本信息

申請?zhí)?/td> CN201710036388.4 申請日 -
公開（公告）號 CN108314692B 公開（公告）日 2022-03-22
申請公布號 CN108314692B 申請公布日 2022-03-22
分類號 C07F7/18（2006.01）I;C07F9/09（2006.01）I;G03F7/027（2006.01）I 分類 有機(jī)化學(xué)〔2〕;
發(fā)明人 孫濤;劉永祥;朱海龍;任雪艷 申請（專利權(quán)）人 固安鼎材科技有限公司
代理機(jī)構(gòu) 北京英創(chuàng)嘉友知識產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所（普通合伙） 代理人 耿超;王浩然
地址 065500河北省廊坊市固安縣新興產(chǎn)業(yè)示范區(qū)
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本公開涉及一種多官能單體化合物及其制備方法和感光性樹脂組合物，該化合物具有式（1）所示的結(jié)構(gòu)；式（1）。本公開的多官能單體化合物能夠在顯影工序中遇水產(chǎn)酸，促進(jìn)未曝光部位的顯影；而對于已曝光部位，該多官能單體化合物能夠參與聚合，與光刻膠組合物中的其他可聚合成分交聯(lián)成為網(wǎng)狀結(jié)構(gòu)，不會因產(chǎn)酸而影響樹脂固化膜的穩(wěn)定性，同時該多官能單體化合物水解后產(chǎn)生的化合物中含有硅羥基，還可以增加樹脂固化膜與玻璃基板的附著力。同時，由于多官能單體化合物本身不具備酸性，比一般含有小分子酸或酸性物質(zhì)作為顯影助劑的彩色光刻膠的儲存穩(wěn)定性有顯著提高。