真空水氣分離裝置

基本信息

申請(qǐng)?zhí)?/td> CN202220333950.6 申請(qǐng)日 -
公開（公告）號(hào) CN216928532U 公開（公告）日 2022-07-08
申請(qǐng)公布號(hào) CN216928532U 申請(qǐng)公布日 2022-07-08
分類號(hào) H01L21/683（2006.01）I;B01D45/02（2006.01）I;B01D45/08（2006.01）I 分類 基本電氣元件;
發(fā)明人 陳開鷹 申請(qǐng)（專利權(quán)）人 中環(huán)領(lǐng)先（徐州）半導(dǎo)體材料有限公司
代理機(jī)構(gòu) - 代理人 -
地址 211000江蘇省徐州市金山橋開發(fā)區(qū)鑫芯路1號(hào)
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本實(shí)用新型公開一種真空水氣分離裝置，包括真空箱體、抽真空接口、真空吸附接口和隔離板；抽真空接口設(shè)置在真空箱體側(cè)壁上部，用于連接真空抽氣管；真空吸附接口設(shè)置在真空箱體側(cè)壁中部，用于連接帶有吸附部件的真空管；所述隔離板設(shè)置在真空箱體內(nèi)，所述隔離板上下間隔安裝在抽真空接口與真空吸附接口之間的真空箱體側(cè)壁上，所述隔離板一端為自由端；所述真空箱體和隔離板共同限定出連續(xù)“S”型氣體通道；所述抽真空接口設(shè)置在遠(yuǎn)離最上方隔離板自由端的側(cè)壁上；所述真空吸附接口設(shè)置在遠(yuǎn)離最下方隔離板自由端的側(cè)壁上。本實(shí)用新型能夠有效地防止在采用真空吸附硅片時(shí)，硅片表面的液體堵塞真空管，從而出現(xiàn)無法下片或掉片現(xiàn)象。