用于單面拋光機的機械手臂及具有其的單面拋光機

基本信息

申請?zhí)?/td> CN202220087373.7 申請日 -
公開（公告）號 CN216940043U 公開（公告）日 2022-07-12
申請公布號 CN216940043U 申請公布日 2022-07-12
分類號 B24B29/02（2006.01）I;B24B41/04（2006.01）I 分類 磨削；拋光;
發(fā)明人 邵曉東 申請（專利權(quán)）人 中環(huán)領(lǐng)先（徐州）半導(dǎo)體材料有限公司
代理機構(gòu) - 代理人 -
地址 221000江蘇省徐州市金山橋開發(fā)區(qū)鑫芯路1號
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本實用新型公開了一種用于單面拋光機的機械手臂及具有其的單面拋光機，包括：機座，機座設(shè)于單面拋光機的機臺；機臂殼，機臂殼的底部與機座可轉(zhuǎn)動地相連，機臂殼的遠離機座的一端設(shè)有拋光頭，機臂殼內(nèi)設(shè)有連接桿，連接桿的一端與機臂殼可轉(zhuǎn)動地相連；氣缸件，氣缸件包括缸體和推桿，推桿可伸縮地設(shè)于缸體，缸體的下端與機座可轉(zhuǎn)動地相連，推桿的自由端與連接桿的另一端通過螺紋連接；螺母，螺母與推桿的外周壁螺紋相連且適于與連接桿止擋配合，機臂殼的一側(cè)側(cè)壁設(shè)有檢修口，檢修口與螺母相對設(shè)置。根據(jù)本實用新型的用于單面拋光機的機械手臂，無需特制工具就可以對拋光頭進行壓力校正，操作方便，有利于保證對晶圓的拋光品質(zhì)。