加料管、加料方法和晶體生長(zhǎng)設(shè)備

基本信息

申請(qǐng)?zhí)?/td> CN202210344847.6 申請(qǐng)日 -
公開（公告）號(hào) CN114717645A 公開（公告）日 2022-07-08
申請(qǐng)公布號(hào) CN114717645A 申請(qǐng)公布日 2022-07-08
分類號(hào) C30B15/02（2006.01）I 分類 晶體生長(zhǎng)〔3〕;
發(fā)明人 陳俊宏;高海棠 申請(qǐng)（專利權(quán)）人 中環(huán)領(lǐng)先（徐州）半導(dǎo)體材料有限公司
代理機(jī)構(gòu) 北京清亦華知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所（普通合伙） 代理人 -
地址 221004江蘇省徐州市經(jīng)濟(jì)技術(shù)開發(fā)區(qū)鑫芯路1號(hào)
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明公開了一種加料管、加料方法和晶體生長(zhǎng)設(shè)備，加料管用于晶體生長(zhǎng)設(shè)備，且包括管體和多個(gè)分隔件，管體限定出加料腔，加料腔包括多個(gè)沿管體的軸向依次布置的盛放腔，每個(gè)盛放腔的周壁形成有出料口，多個(gè)分隔件沿管體的軸向間隔設(shè)置，每個(gè)分隔件設(shè)于對(duì)應(yīng)盛放腔，且分隔件可在遮擋位置和避讓位置之間運(yùn)動(dòng)，在遮擋位置，分隔件位于對(duì)應(yīng)出料口的上側(cè)以遮擋對(duì)應(yīng)出料口，在避讓位置，分隔件的至少部分位于對(duì)應(yīng)出料口的下側(cè)以避讓對(duì)應(yīng)出料口。根據(jù)本發(fā)明的加料管，加料較為分散，有利于提升后續(xù)化料效率。