加料組件及具有其的單晶生長裝置、加料方法

基本信息

申請?zhí)?/td> CN202210301704.7 申請日 -
公開（公告）號 CN114686978A 公開（公告）日 2022-07-01
申請公布號 CN114686978A 申請公布日 2022-07-01
分類號 C30B27/02（2006.01）I;C30B29/06（2006.01）I 分類 晶體生長〔3〕;
發(fā)明人 陳俊宏 申請（專利權(quán)）人 中環(huán)領(lǐng)先（徐州）半導(dǎo)體材料有限公司
代理機(jī)構(gòu) 北京清亦華知識產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所（普通合伙） 代理人 -
地址 221004江蘇省徐州市經(jīng)濟(jì)技術(shù)開發(fā)區(qū)鑫芯路1號
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明公開了一種加料組件及具有其的單晶生長裝置、加料方法，單晶生長裝置包括：爐體、坩堝以及加料組件，爐體內(nèi)限定出爐室，坩堝設(shè)于爐室內(nèi)，加料組件適于向坩堝內(nèi)補(bǔ)充原料，加料組件包括：加料筒、導(dǎo)料件以及調(diào)節(jié)件，加料筒內(nèi)形成容納原料的容納腔，容納腔的朝向坩堝一側(cè)形成開口，導(dǎo)料件可移動(dòng)地設(shè)于容納腔內(nèi)，導(dǎo)料件朝向開口的表面形成為導(dǎo)料面，導(dǎo)料面與開口的內(nèi)周壁之間限定出出料口，導(dǎo)料件具有關(guān)閉出料口的展開狀態(tài)以及打開出料口的收合狀態(tài)，調(diào)節(jié)件適于驅(qū)動(dòng)導(dǎo)料件在展開狀態(tài)和收合狀態(tài)之間切換，以調(diào)節(jié)出料口的大小。根據(jù)本發(fā)明的加料組件，可以根據(jù)原料的大小尺寸控制原料的下落速度，從而減小加料過程中造成的熔湯飛濺以及液面振動(dòng)。