可豎移止晃的提拉機(jī)構(gòu)及其使用方法
基本信息
| 申請(qǐng)?zhí)?/td> | CN202210342263.5 | 申請(qǐng)日 | - |
| 公開(kāi)（公告）號(hào) | CN114686979A | 公開(kāi)（公告）日 | 2022-07-01 |
| 申請(qǐng)公布號(hào) | CN114686979A | 申請(qǐng)公布日 | 2022-07-01 |
| 分類號(hào) | C30B27/02（2006.01）I | 分類 | 晶體生長(zhǎng)〔3〕; |
| 發(fā)明人 | 陳俊宏 | 申請(qǐng)（專利權(quán)）人 | 中環(huán)領(lǐng)先（徐州）半導(dǎo)體材料有限公司 |
| 代理機(jī)構(gòu) | 北京清亦華知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所（普通合伙） | 代理人 | - |
| 地址 | 221004江蘇省徐州市經(jīng)濟(jì)技術(shù)開(kāi)發(fā)區(qū)鑫芯路1號(hào) | ||
| 法律狀態(tài) | - | ||
摘要
| 摘要 | 本發(fā)明公開(kāi)了一種可豎移止晃的提拉結(jié)構(gòu)及其使用方法，提拉結(jié)構(gòu)包括：籽晶夾，籽晶夾用于固定籽晶，籽晶夾的至少部分外周面為回轉(zhuǎn)形的配合面；軟軸，軟軸下端連接籽晶夾，軟軸構(gòu)造成能夠牽引籽晶夾旋轉(zhuǎn)和升降；限位件，限位件為一個(gè)且環(huán)繞籽晶夾設(shè)置，或者限位件為多個(gè)且環(huán)繞籽晶夾分布，限位件構(gòu)造成能夠繞軟軸的旋轉(zhuǎn)軸線旋轉(zhuǎn)，且限位件在第一位置和第二位置之間可豎向移動(dòng)，限位件的朝向軟軸的旋轉(zhuǎn)軸線的至少部分表面為限位面；在第一位置時(shí)限位件的限位面位于配合面的上方，在第二位置時(shí)限位面位于配合面的高度范圍內(nèi)。本發(fā)明的提拉機(jī)構(gòu)，能夠快速穩(wěn)定籽晶夾的晃動(dòng)，減少對(duì)晶棒生長(zhǎng)的影響。 |
