一種半導(dǎo)體片材的表面缺陷及厚度檢測(cè)裝置及方法
基本信息
| 申請(qǐng)?zhí)?/td> | CN202110736291.0 | 申請(qǐng)日 | - |
| 公開(kāi)（公告）號(hào) | CN113188610B | 公開(kāi)（公告）日 | 2021-09-24 |
| 申請(qǐng)公布號(hào) | CN113188610B | 申請(qǐng)公布日 | 2021-09-24 |
| 分類(lèi)號(hào) | G01D21/02;B01D46/30 | 分類(lèi) | 測(cè)量；測(cè)試; |
| 發(fā)明人 | 閆長(zhǎng)春 | 申請(qǐng)（專(zhuān)利權(quán)）人 | 蘇師大半導(dǎo)體材料與設(shè)備研究院（邳州）有限公司 |
| 代理機(jī)構(gòu) | 北京棘龍知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司 | 代理人 | 張開(kāi) |
| 地址 | 212000 江蘇省徐州市邳州市邳州經(jīng)濟(jì)開(kāi)發(fā)區(qū)遼河西路88號(hào) | ||
| 法律狀態(tài) | - | ||
摘要
| 摘要 | 本發(fā)明公開(kāi)了一種半導(dǎo)體片材的表面缺陷及厚度檢測(cè)裝置，包括檢測(cè)底座、集塵機(jī)構(gòu)、風(fēng)墻機(jī)構(gòu)、收風(fēng)機(jī)構(gòu)和增效機(jī)構(gòu)，檢測(cè)底座內(nèi)設(shè)有集塵機(jī)構(gòu)，集塵機(jī)構(gòu)包括支撐底托，支撐底托內(nèi)設(shè)有第一集塵箱，支撐底托內(nèi)設(shè)有風(fēng)墻機(jī)構(gòu)，風(fēng)墻機(jī)構(gòu)包括第一鼓風(fēng)機(jī)，檢測(cè)底座和支撐底托上均連接有導(dǎo)向夾。本發(fā)明通過(guò)半導(dǎo)體片材表面缺陷及厚度檢測(cè)裝置上相應(yīng)機(jī)構(gòu)的設(shè)置，有效的減少了檢測(cè)范圍內(nèi)的灰塵以及雜質(zhì)，不僅提升了發(fā)射光的抵達(dá)率，還提升了反射光的接收率，降低了灰塵以及雜質(zhì)對(duì)于半導(dǎo)體片材表面缺陷及厚度檢測(cè)裝置的影響，同步減少了對(duì)半導(dǎo)體片材后續(xù)的制備及其應(yīng)用時(shí)性能發(fā)揮的影響，降低了廠家的損失。 |
