硅片外形尺寸檢測工具及檢測方法

基本信息

申請?zhí)?/td> CN202110735347.0 申請日 -
公開（公告）號 CN113251976A 公開（公告）日 2021-09-24
申請公布號 CN113251976A 申請公布日 2021-09-24
分類號 G01B21/08;G01B21/20;B25H1/08 分類 測量；測試;
發(fā)明人 趙波 申請（專利權(quán)）人 蘇師大半導(dǎo)體材料與設(shè)備研究院（邳州）有限公司
代理機(jī)構(gòu) 北京棘龍知識產(chǎn)權(quán)代理有限公司 代理人 張開
地址 212000 江蘇省徐州市邳州市邳州經(jīng)濟(jì)開發(fā)區(qū)遼河西路88號
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明公開了硅片外形尺寸檢測工具及檢測方法，屬于檢測工具技術(shù)領(lǐng)域，硅片外形尺寸檢測工具，包括第一箱體、第二箱體和硅片本體，還包括：檢測頭，連接在第二箱體內(nèi)；檢測臺，連接在第一箱體頂部，硅片本體位于檢測臺上；T型板，轉(zhuǎn)動(dòng)連接在檢測臺頂部，且與硅片本體相抵；扭簧，連接在檢測臺與T型板遠(yuǎn)離硅片本體的一端；檢測臺上設(shè)有用于推動(dòng)T型板轉(zhuǎn)動(dòng)的推動(dòng)機(jī)構(gòu)；第一活塞組件，位于檢測臺內(nèi)；與市場上現(xiàn)有的硅片外形尺寸檢測工具相比，本硅片外形尺寸檢測工具，在檢測過程中，還可以去除硅片本體周圍灰塵，以及防止檢測頭上出現(xiàn)灰塵，提高檢測精度。