硅片外形尺寸檢測(cè)工具及檢測(cè)方法
基本信息
| 申請(qǐng)?zhí)?/td> | CN202110735347.0 | 申請(qǐng)日 | - |
| 公開（公告）號(hào) | CN113251976B | 公開（公告）日 | 2021-09-24 |
| 申請(qǐng)公布號(hào) | CN113251976B | 申請(qǐng)公布日 | 2021-09-24 |
| 分類號(hào) | G01B21/08;G01B21/20;B25H1/08 | 分類 | 測(cè)量；測(cè)試; |
| 發(fā)明人 | 趙波 | 申請(qǐng)（專利權(quán)）人 | 蘇師大半導(dǎo)體材料與設(shè)備研究院（邳州）有限公司 |
| 代理機(jī)構(gòu) | 北京棘龍知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司 | 代理人 | 張開 |
| 地址 | 212000 江蘇省徐州市邳州市邳州經(jīng)濟(jì)開發(fā)區(qū)遼河西路88號(hào) | ||
| 法律狀態(tài) | - | ||
摘要
| 摘要 | 本發(fā)明公開了硅片外形尺寸檢測(cè)工具及檢測(cè)方法，屬于檢測(cè)工具技術(shù)領(lǐng)域，硅片外形尺寸檢測(cè)工具，包括第一箱體、第二箱體和硅片本體，還包括：檢測(cè)頭，連接在第二箱體內(nèi)；檢測(cè)臺(tái)，連接在第一箱體頂部，硅片本體位于檢測(cè)臺(tái)上；T型板，轉(zhuǎn)動(dòng)連接在檢測(cè)臺(tái)頂部，且與硅片本體相抵；扭簧，連接在檢測(cè)臺(tái)與T型板遠(yuǎn)離硅片本體的一端；檢測(cè)臺(tái)上設(shè)有用于推動(dòng)T型板轉(zhuǎn)動(dòng)的推動(dòng)機(jī)構(gòu)；第一活塞組件，位于檢測(cè)臺(tái)內(nèi)；與市場(chǎng)上現(xiàn)有的硅片外形尺寸檢測(cè)工具相比，本硅片外形尺寸檢測(cè)工具，在檢測(cè)過程中，還可以去除硅片本體周圍灰塵，以及防止檢測(cè)頭上出現(xiàn)灰塵，提高檢測(cè)精度。 |
