一種激光器外延結(jié)構(gòu)、VCSEL芯片

基本信息

申請?zhí)?/td> CN202023168938.4 申請日 -
公開(公告)號 CN214255059U 公開(公告)日 2021-09-21
申請公布號 CN214255059U 申請公布日 2021-09-21
分類號 H01S5/183(2006.01)I 分類 基本電氣元件;
發(fā)明人 林志偉;陳凱軒;童吉楚;謝昆江;徐楓 申請(專利權(quán))人 廈門乾照激光芯片科技有限公司
代理機(jī)構(gòu) - 代理人 -
地址 361000福建省廈門市廈門火炬高新區(qū)(翔安)產(chǎn)業(yè)區(qū)翔天路269號8樓
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本實(shí)用新型提供了一種激光器外延結(jié)構(gòu)、VCSEL芯片,其中激光器外延結(jié)構(gòu)包括:依次堆疊的襯底、緩沖層、N型DBR層、有源區(qū)、氧化層、P型DBR層及P型歐姆接觸層;所述N型DBR層和P型DBR層分別包括若干組交替生長的低折射率物質(zhì)層和高折射率物質(zhì)層,且所述低折射率物質(zhì)層和所述高折射率物質(zhì)層界面之間形成隧穿結(jié),可以提高激光器內(nèi)量子效應(yīng),有效提升激光器的性能。