一種鎂基或鋁基濾波器腔體鍍層及其制備方法

基本信息

申請(qǐng)?zhí)?/td> CN202010864775.9 申請(qǐng)日 -
公開（公告）號(hào) CN111962035A 公開（公告）日 2020-11-20
申請(qǐng)公布號(hào) CN111962035A 申請(qǐng)公布日 2020-11-20
分類號(hào) C23C14/35;C23C14/16;C23C14/02 分類 對(duì)金屬材料的鍍覆；用金屬材料對(duì)材料的鍍覆；表面化學(xué)處理；金屬材料的擴(kuò)散處理；真空蒸發(fā)法、濺射法、離子注入法或化學(xué)氣相沉積法的一般鍍覆；金屬材料腐蝕或積垢的一般抑制〔2〕;
發(fā)明人 馬洋;劉建利 申請(qǐng)（專利權(quán)）人 西安匠心云涂科技有限公司
代理機(jī)構(gòu) 西安通大專利代理有限責(zé)任公司 代理人 李紅霖
地址 710054 陜西省西安市雁塔區(qū)雁翔路99號(hào)博源科技廣場(chǎng)c座414室
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明公開了一種鎂基或鋁基濾波器腔體鍍層及其制備方法，屬于磁控濺射鍍膜領(lǐng)域。本發(fā)明的制備方法，采用磁控濺射來鍍層，首先鍍200～300nm的Cr層作為打底層，代替采用傳統(tǒng)電鍍或化學(xué)鍍的200～700nm的Ni打底層；之后濺射Cu層，Cu層沉積完成后，采用磁控共濺射技術(shù)沉積1?2μm的Cr?Al?Ag共濺射層，在保證電學(xué)性能的同時(shí)，進(jìn)一步減少了Ag的使用量，降低成本；共濺射層中Cr的加入提升了膜層間的結(jié)合力，Cr和Al均可提高鍍層的抗氧化變色能力。本發(fā)明的制備方法，提高了鍍層的致密性，減少了薄膜內(nèi)部缺陷，因此降低了表面接觸電阻，有利于濾波器的整機(jī)性能的提升。