射頻壓電諧振器空氣反射腔的制備方法
基本信息
| 申請(qǐng)?zhí)?/td> | CN202010148858.8 | 申請(qǐng)日 | - |
| 公開（公告）號(hào) | CN113364419A | 公開（公告）日 | 2021-09-07 |
| 申請(qǐng)公布號(hào) | CN113364419A | 申請(qǐng)公布日 | 2021-09-07 |
| 分類號(hào) | H03H3/02;H03H9/15 | 分類 | 基本電子電路; |
| 發(fā)明人 | 陳真;劉曉軍;韓娜 | 申請(qǐng)（專利權(quán)）人 | 合肥爾微企業(yè)管理咨詢合伙企業(yè)（有限合伙） |
| 代理機(jī)構(gòu) | 上海段和段律師事務(wù)所 | 代理人 | 李佳俊;郭國中 |
| 地址 | 230001 安徽省合肥市廬陽區(qū)臨泉路與鳳淮路交口楓林雅苑1#901 | ||
| 法律狀態(tài) | - | ||
摘要
| 摘要 | 本發(fā)明提供了射頻壓電諧振器空氣反射腔的制備方法，包括：在襯底層的上表面形成空氣反射腔所需形狀的犧牲層，在犧牲層外側(cè)形成射頻壓電諧振器，然后刻蝕去除犧牲層；或者，在凹形的襯底層的凹槽中填充犧牲層材料形成犧牲層，在犧牲層外側(cè)形成射頻壓電諧振器，然后刻蝕去除犧牲層。本發(fā)明提供的兩種射頻壓電諧振器空氣反射腔的制備方法填補(bǔ)了空氣腔體制備的空白。 |
