一種用于石英舟裝載硅片時(shí)的自動(dòng)控制整形矯正裝置

基本信息

申請(qǐng)?zhí)?/td> CN202120728535.6 申請(qǐng)日 -
公開（公告）號(hào) CN215299270U 公開（公告）日 2021-12-24
申請(qǐng)公布號(hào) CN215299270U 申請(qǐng)公布日 2021-12-24
分類號(hào) H01L31/18（2006.01）I;H01L21/673（2006.01）I 分類 基本電氣元件;
發(fā)明人 胡紹萊;張春亮;王斯海;肖圣義 申請(qǐng)（專利權(quán)）人 通威太陽能（金堂）有限公司
代理機(jī)構(gòu) 成都弘毅天承知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司 代理人 鄧蕓
地址 610000四川省成都市金堂縣淮口鎮(zhèn)金樂路東段1號(hào)（金堂工業(yè)園區(qū)內(nèi)）
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本實(shí)用新型公開了一種用于石英舟裝載硅片時(shí)的自動(dòng)控制整形矯正裝置，涉及太陽電池制造技術(shù)領(lǐng)域，包括用于裝載硅片的石英舟組件、驅(qū)動(dòng)石英舟組件水平橫向移動(dòng)的水平控制伺服系統(tǒng)，所述石英舟組件一側(cè)水平設(shè)置有用于整形矯正硅片位置的且高度可調(diào)節(jié)的復(fù)合整形矯正機(jī)構(gòu)，還包括控制復(fù)合整形矯正機(jī)構(gòu)和水平控制伺服系統(tǒng)啟停的控制器；本實(shí)用新型結(jié)構(gòu)簡單，能夠?qū)κ⒅墼谒椒较蚝蛷?fù)合整形矯正機(jī)構(gòu)的高度方向進(jìn)行自動(dòng)控制調(diào)節(jié)，達(dá)到位置精確可控，從而使硅片放入石英舟后不會(huì)因?yàn)槭⒅鄹叨鹊钠顚?dǎo)致整形后錯(cuò)槽、碎片、崩缺。