一種電子級八氟環(huán)戊烯的提純方法

基本信息

申請?zhí)?/td> CN201910809769.0 申請日 -
公開（公告）號 CN110483234B 公開（公告）日 2021-12-07
申請公布號 CN110483234B 申請公布日 2021-12-07
分類號 C07C17/38（2006.01）I;C07C17/383（2006.01）I;C07C17/389（2006.01）I;C07C23/08（2006.01）I;B01D53/02（2006.01）I;B01D53/22（2006.01）I;B01D53/26（2006.01）I;B01D67/00（2006.01）I;B01D71/76（2006.01）I;B01J20/20（2006.01）I;B01J20/30（2006.01）I 分類 有機化學(xué)〔2〕;
發(fā)明人 陳剛;張曉東;張廣第;周井森;張學(xué)良;李軍;張雪剛;夏添;張云峰 申請（專利權(quán)）人 浙江博瑞電子科技有限公司
代理機構(gòu) - 代理人 -
地址 324004浙江省衢州市柯城區(qū)衢化街道北苑村29幢310室
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明涉及精細(xì)化工領(lǐng)域，具體關(guān)于一種電子級八氟環(huán)戊烯的提純方法；包含有精餾提純、低溫吸附提純和加壓吸附提純等步驟；本發(fā)明的使用氣相法從易得到的原料環(huán)戊烯得到最終的產(chǎn)物八氟環(huán)戊烯，本發(fā)明采用低溫精餾技術(shù)，同時結(jié)合低溫吸附技術(shù)和加壓吸附技術(shù)對八氟環(huán)戊烯進(jìn)行純化，并且采用經(jīng)過改性的椰子殼炭作為介孔低溫吸附劑，再經(jīng)過膜分離進(jìn)一步分離提純，使八氟環(huán)戊烯產(chǎn)品中含水分雜質(zhì)體積濃度≤5ppm，氧氣雜質(zhì)體積濃度≤3.5ppm并且使傳統(tǒng)工藝難以分離的氮氣體積濃度≤1ppm，有效地提高產(chǎn)品的純度并實現(xiàn)八氟環(huán)戊烯產(chǎn)品的純度在99.999%以上，滿足半導(dǎo)體與微電子工業(yè)中對于電子特氣的要求。