一種HCL電子氣體的反應(yīng)性超聲精餾提純方法

基本信息

申請?zhí)?/td> CN202010028865.4 申請日 -
公開（公告）號 CN111115579B 公開（公告）日 2021-12-17
申請公布號 CN111115579B 申請公布日 2021-12-17
分類號 C01B7/07（2006.01）I 分類 無機(jī)化學(xué);
發(fā)明人 葉向榮;陳剛;李軍;夏添;張廣第;張曉東 申請（專利權(quán)）人 浙江博瑞電子科技有限公司
代理機(jī)構(gòu) - 代理人 -
地址 324000浙江省衢州市柯城區(qū)東南時代3幢839室
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明涉及高純氣體提純領(lǐng)域，具體關(guān)于一種HCL電子氣體的反應(yīng)性超聲精餾提純方法；本發(fā)明的一種HCL電子氣體的反應(yīng)性超聲精餾提純方法，本發(fā)明在含微量水的液化液化HCL中分別加入少量氯化亞砜，通過精餾去除、或氯化亞砜與水分反應(yīng)生成的CO或SO，達(dá)到HCL脫水提純的目的；另外，將液化或液化HCL置于超聲場中進(jìn)行精餾提純，能夠?yàn)榇龠M(jìn)氯化亞砜與液化或液化HCL中微量水分的反應(yīng)，加速CO或SO從液化或液化HCL中的逸出，有效降低CO或SO在液化或液化HCL中的殘留；本發(fā)明屬于水分反應(yīng)性轉(zhuǎn)化與超聲除氣耦合方法，具有純度高，水分含量極低的優(yōu)點(diǎn)。