一種基于MEMS技術(shù)的金剛石海水鹽度傳感器

基本信息

申請?zhí)?/td> CN201820051113.8 申請日 -
公開（公告）號 CN208568661U 公開（公告）日 2019-03-01
申請公布號 CN208568661U 申請公布日 2019-03-01
分類號 G01N27/26（2006.01）I; G01N27/30（2006.01）I 分類 測量；測試;
發(fā)明人 郭風(fēng)祥; 蓋志剛; 張濤; 惠超; 張妹; 邱慧敏; 胡鼎; 李恒; 李正軍; 曹琳 申請（專利權(quán)）人 青島浦澤海洋科技有限公司
代理機構(gòu) 青島華慧澤專利代理事務(wù)所（普通合伙） 代理人 山東省科學(xué)院海洋儀器儀表研究所
地址 266000 山東省青島市嶗山區(qū)同安路880號5層H17室
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本實用新型公開了一種基于MEMS技術(shù)的金剛石海水鹽度傳感器，包括本征金剛石絕緣襯底、摻雜金剛石陣列電極、電極引線和水密絕緣封裝結(jié)構(gòu)，所述摻雜金剛石陣列電極位于本征金剛石絕緣襯底與海水接觸的一側(cè)，水密絕緣封裝結(jié)構(gòu)位于本征金剛石絕緣襯底的另一側(cè)，電極引線一端穿過水密絕緣封裝結(jié)構(gòu)與摻雜金剛石陣列電極相連，另一端與后端測量電路相連；所述摻雜金剛石陣列電極包括四列探測電極，內(nèi)部兩列探測電極為信號采集電極，外部兩列探測電極為信號輸入電極，本實用新型所公開的電導(dǎo)率傳感器滿足微型化的要求，化學(xué)穩(wěn)定性高，抗生物附著能力強，穩(wěn)定工作壽命長。