基于金剛石薄膜的快速響應(yīng)的海水壓力傳感器

基本信息

申請(qǐng)?zhí)?/td> CN201821229095.4 申請(qǐng)日 -
公開(kāi)（公告）號(hào) CN208537079U 公開(kāi)（公告）日 2019-02-22
申請(qǐng)公布號(hào) CN208537079U 申請(qǐng)公布日 2019-02-22
分類號(hào) G01L9/08（2006.01）I 分類 測(cè)量；測(cè)試;
發(fā)明人 郭風(fēng)祥; 蓋志剛; 姜辛; 張濤; 張妹; 胡鼎; 邱慧敏; 禹定峰; 孫小玲; 王宜豹 申請(qǐng)（專利權(quán)）人 青島浦澤海洋科技有限公司
代理機(jī)構(gòu) 青島華慧澤專利代理事務(wù)所（普通合伙） 代理人 山東省科學(xué)院海洋儀器儀表研究所
地址 266000 山東省青島市嶗山區(qū)同安路880號(hào)5層H17室
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本實(shí)用新型屬于海洋環(huán)境監(jiān)測(cè)設(shè)備技術(shù)領(lǐng)域，涉及一種用于檢測(cè)海水壓力的傳感器。一種基于金剛石薄膜的快速響應(yīng)的海水壓力傳感器,包括底座、基底、絕緣層、壓力敏感層、電極和防護(hù)層；所述基底位于底座的頂面，其內(nèi)部形成有應(yīng)力腔；絕緣層位于基底的頂面，且位于應(yīng)力腔的正上方；壓力敏感層位于絕緣層的頂面，為單晶或多晶硼摻雜金剛石材料，或硼摻雜金剛石與碳化硅、或硼摻雜金剛石與石墨材料構(gòu)成的尺寸、結(jié)構(gòu)、成分完全相同的四塊薄膜；所述電極包括四個(gè)，分別設(shè)置在形成壓力敏感層的四塊薄膜上；所述防護(hù)層沉積在絕緣層的頂面，并將壓力敏感層和電極封裝在其內(nèi)。本實(shí)用新型的海水壓力傳感器可以避免傳感器結(jié)構(gòu)失穩(wěn)與信號(hào)漂移，提高傳感器對(duì)海水壓力響應(yīng)的靈敏度和穩(wěn)定性。