一種基于金剛石薄膜的全海深溫度傳感器

基本信息

申請?zhí)?/td> CN201721324913.4 申請日 -
公開（公告）號 CN207502059U 公開（公告）日 2018-06-15
申請公布號 CN207502059U 申請公布日 2018-06-15
分類號 G01K1/08;G01K1/18;G01K13/02 分類 測量；測試;
發(fā)明人 郭風祥;蓋志剛;張濤;張妹;邱慧敏;李恒;李正軍 申請（專利權）人 青島浦澤海洋科技有限公司
代理機構 青島華慧澤專利代理事務所（普通合伙） 代理人 山東省科學院海洋儀器儀表研究所
地址 266000 山東省青島市嶗山區(qū)同安路880號5層H17室
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本實用新型公開了一種基于金剛石薄膜的全海深溫度傳感器，包括管狀的金屬外殼，所述金屬外殼頂端設有金剛石基底，所述金屬外殼內(nèi)部位于金剛石基底上設有硼摻雜金剛石薄膜材料制成的溫度響應元件，所述溫度響應元件的兩端設有電極引線，所述溫度響應元件和電極引線表面覆蓋有陶瓷或類金剛石絕緣層；所述金屬外殼和金剛石基底的連接處設有密封圈，同時還公開了該溫度傳感器的制備方法，本實用新型所公開的溫度傳感器體積小、響應速度快、分辨率高、結構穩(wěn)定、測量不受外界海水壓力影響。