一種基于金剛石薄膜的海水壓力傳感器
基本信息
| 申請(qǐng)?zhí)?/td> | CN201821231269.0 | 申請(qǐng)日 | - |
| 公開（公告）號(hào) | CN208568143U | 公開（公告）日 | 2019-03-01 |
| 申請(qǐng)公布號(hào) | CN208568143U | 申請(qǐng)公布日 | 2019-03-01 |
| 分類號(hào) | G01L7/08（2006.01）I; G01L9/06（2006.01）I | 分類 | 測(cè)量；測(cè)試; |
| 發(fā)明人 | 郭風(fēng)祥; 蓋志剛; 張濤; 張妹; 胡鼎; 劉壽生; 曹琳; 王韶琰; 柴旭; 王宜豹 | 申請(qǐng)（專利權(quán)）人 | 青島浦澤海洋科技有限公司 |
| 代理機(jī)構(gòu) | 青島華慧澤專利代理事務(wù)所（普通合伙） | 代理人 | 山東省科學(xué)院海洋儀器儀表研究所 |
| 地址 | 266000 山東省青島市嶗山區(qū)同安路880號(hào)5層H17室 | ||
| 法律狀態(tài) | - | ||
摘要
| 摘要 | 本實(shí)用新型屬于海洋環(huán)境監(jiān)測(cè)儀器技術(shù)領(lǐng)域，涉及一種用于檢測(cè)海水壓力的傳感器。一種基于金剛石薄膜的海水壓力傳感器,包括底座、基底、絕緣層、壓力敏感層、電極和金屬外殼；其中，基底位于底座的頂面，其內(nèi)部形成有應(yīng)力腔；絕緣層位于基底的頂面；壓力敏感層位于絕緣層的頂面，為單晶或多晶硼摻雜金剛石構(gòu)成的尺寸、結(jié)構(gòu)、成分完全相同的四塊薄膜；電極包括四個(gè)，分別設(shè)置在形成所述壓力敏感層的四塊薄膜上；金屬外殼安裝在所述基底的頂面，并將所述絕緣層、壓力敏感層和電極封裝在其內(nèi)，在金屬外殼環(huán)繞形成的腔體內(nèi)封裝有液壓油。本實(shí)用新型的海水壓力傳感器可以抑制傳感器結(jié)構(gòu)失穩(wěn)與信號(hào)漂移，提高傳感器對(duì)海水壓力響應(yīng)的靈敏度和穩(wěn)定性。 |
