一種利用超短脈沖激光制備硅基表面陷光結構的方法
基本信息
| 申請?zhí)?/td> | CN201210052373.4 | 申請日 | - |
| 公開（公告）號 | CN102581484B | 公開（公告）日 | 2014-12-03 |
| 申請公布號 | CN102581484B | 申請公布日 | 2014-12-03 |
| 分類號 | B23K26/18(2006.01)I;B23K26/70(2014.01)I;H01L31/18(2006.01)I | 分類 | 機床；不包含在其他類目中的金屬加工; |
| 發(fā)明人 | 李保家;周明;黃立靜;張偉;唐萬羿;馬明;蔡蘭 | 申請（專利權）人 | 南通通邁自動化科技有限公司 |
| 代理機構 | 南京經(jīng)緯專利商標代理有限公司 | 代理人 | 江蘇大學 |
| 地址 | 212013 江蘇省鎮(zhèn)江市京口區(qū)學府路301號 | ||
| 法律狀態(tài) | - | ||
摘要
| 摘要 | 本發(fā)明涉及硅基表面陷光結構，特指一種利用可見/近紅外超短脈沖激光誘導制備硅基表面陷光結構的方法，可適用于晶體硅和薄膜硅等硅基材料。本發(fā)明的目的是克服在先技術上的不足，提供一種利用超短脈沖激光誘導制備硅基表面陷光結構的方法，無需氣體或液體作為環(huán)境介質，通過表面貼膜法來實現(xiàn)硅基表面結構成形。 |
