一種利用超短脈沖激光制備硅基表面陷光結(jié)構(gòu)的方法

基本信息

申請(qǐng)?zhí)?/td> CN201210052373.4 申請(qǐng)日 -
公開（公告）號(hào) CN102581484A 公開（公告）日 2012-07-18
申請(qǐng)公布號(hào) CN102581484A 申請(qǐng)公布日 2012-07-18
分類號(hào) B23K26/18(2006.01)I;B23K26/42(2006.01)I;H01L31/18(2006.01)I 分類 機(jī)床；不包含在其他類目中的金屬加工;
發(fā)明人 周明;李保家;張偉;唐萬羿;馬明;蔡蘭 申請(qǐng)（專利權(quán)）人 南通通邁自動(dòng)化科技有限公司
代理機(jī)構(gòu) 南京經(jīng)緯專利商標(biāo)代理有限公司 代理人 江蘇大學(xué)
地址 212013 江蘇省鎮(zhèn)江市京口區(qū)學(xué)府路301號(hào)
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明涉及硅基表面陷光結(jié)構(gòu)，特指一種利用可見/近紅外超短脈沖激光誘導(dǎo)制備硅基表面陷光結(jié)構(gòu)的方法，可適用于晶體硅和薄膜硅等硅基材料。本發(fā)明的目的是克服在先技術(shù)上的不足，提供一種利用超短脈沖激光誘導(dǎo)制備硅基表面陷光結(jié)構(gòu)的方法，無需氣體或液體作為環(huán)境介質(zhì)，通過表面貼膜法來實(shí)現(xiàn)硅基表面結(jié)構(gòu)成形。