微納結(jié)構(gòu)陣列散熱片的制造方法

基本信息

申請?zhí)?/td> CN201310656925.7 申請日 -
公開（公告）號 CN103668367B 公開（公告）日 2016-07-20
申請公布號 CN103668367B 申請公布日 2016-07-20
分類號 C25D5/02(2006.01)I;C25D7/00(2006.01)I;C25D3/12(2006.01)I;F28F3/04(2006.01)I;B82Y40/00(2011.01)I 分類 電解或電泳工藝；其所用設(shè)備〔4〕;
發(fā)明人 俞敏莉;鄭建紅;李立峰 申請（專利權(quán)）人 寧波微極電子科技有限公司
代理機(jī)構(gòu) 寧波市鄞州甬致專利代理事務(wù)所（普通合伙） 代理人 寧波微極電子科技有限公司
地址 315194 浙江省寧波市鄞州區(qū)首南街道新興工業(yè)園區(qū)
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明公開了一種微納結(jié)構(gòu)陣列散熱片的制造方法，它包括以下步驟:1）制備一個由N×M個微電解導(dǎo)管組成的微電解導(dǎo)管陣列模板；2）控制每個微電解導(dǎo)管在導(dǎo)電基板上完成由（n×N）×（m×M）個微納金屬柱組成的微納結(jié)構(gòu)陣列骨架；3）將步驟2)中制備好的微納結(jié)構(gòu)陣列骨架置于電鍍液中電鍍1-5μm厚的多孔鎳層，即可制得微納結(jié)構(gòu)陣列散熱片；本發(fā)明材料利用率高、所制備的散熱片有效散熱面積大、散熱效率高。