制造微納尺寸同軸管的方法

基本信息

申請(qǐng)?zhí)?/td> CN201310224867.0 申請(qǐng)日 -
公開(kāi)（公告）號(hào) CN103305884B 公開(kāi)（公告）日 2015-10-28
申請(qǐng)公布號(hào) CN103305884B 申請(qǐng)公布日 2015-10-28
分類號(hào) C25D7/00(2006.01)I;C25D5/02(2006.01)I;C25D5/04(2006.01)I;C25D17/00(2006.01)I;C25D21/12(2006.01)I;B82Y40/00(2011.01)I 分類 電解或電泳工藝；其所用設(shè)備〔4〕;
發(fā)明人 俞敏莉;鄭建紅;李立峰 申請(qǐng)（專利權(quán)）人 寧波微極電子科技有限公司
代理機(jī)構(gòu) 寧波市鄞州甬致專利代理事務(wù)所（普通合伙） 代理人 寧波微極電子科技有限公司
地址 315194 浙江省寧波市鄞州區(qū)首南街道新興工業(yè)園區(qū)
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明公開(kāi)了一種制造微納尺寸同軸管的方法，它包括以下步驟:1）提供一個(gè)導(dǎo)電基板和三個(gè)不同尺寸內(nèi)徑(D1,D2,D3)的微電解導(dǎo)管，且D1<D2<D3；2）采用微區(qū)電解沉積系統(tǒng)，用內(nèi)徑為D1的微電解導(dǎo)管在導(dǎo)電基板上電沉積A材料的柱狀結(jié)構(gòu)，柱的直徑為D1；3）圍繞直徑為D1的A材料的柱狀結(jié)構(gòu)，用內(nèi)徑為D2的微電解導(dǎo)管在導(dǎo)電基板上電沉積B材料的直管狀微納結(jié)構(gòu)；4）圍繞步驟3）中制得的外徑為D2的B材料直管狀微納結(jié)構(gòu)，用內(nèi)徑為D3的微電解導(dǎo)管在導(dǎo)電基板上用材料A電沉積直管狀微納結(jié)構(gòu)，本發(fā)明能利用普通單層玻璃微電解導(dǎo)管高效率、高控制精度的直接制備微納尺寸同軸管。