一種超微缺陷檢測裝置及其檢測方法

基本信息

申請?zhí)?/td> CN202110878028.5 申請日 -
公開（公告）號 CN113325006A 公開（公告）日 2021-08-31
申請公布號 CN113325006A 申請公布日 2021-08-31
分類號 G01N21/95（2006.01）I 分類 測量；測試;
發(fā)明人 雷楓;張武杰;呂曉云;張鉛 申請（專利權(quán)）人 中科慧遠視覺技術(shù)（洛陽）有限公司
代理機構(gòu) - 代理人 -
地址 100088北京市海淀區(qū)中關(guān)村南一條甲1號ECO中科愛克大廈801室
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本申請公開了一種超微缺陷檢測裝置及其檢測方法，裝置包括成像模塊、光源模塊、濾波模塊和安裝平臺，成像模塊進一步包括相機、成像透鏡和物鏡，相機、成像透鏡與物鏡從上至下依次垂直排列，光源模塊進一步包括準直鏡、光源發(fā)生器和分光束鏡，光源發(fā)生器和分光束鏡相連，準直鏡安裝在光源發(fā)生器與分光束鏡之間；濾波模塊進一步包括空間濾波器，空間濾波器安裝在成像透鏡和物鏡之間。本申請采用非接觸缺陷檢測方式，不會破壞待測物體表面，適用于檢測易損傷表面的缺陷；與常用的光學顯微成像系統(tǒng)相比，本申請既有高分辨率、又有大視場，能夠識別分布于數(shù)十毫米范圍內(nèi)的亞微米大小缺陷。