一種四自由度磁場測(cè)試裝置

基本信息

申請(qǐng)?zhí)?/td> CN201710485717.3 申請(qǐng)日 -
公開（公告）號(hào) CN109116274B 公開（公告）日 2021-06-11
申請(qǐng)公布號(hào) CN109116274B 申請(qǐng)公布日 2021-06-11
分類號(hào) G01R33/10;G01R33/12;G05D3/12 分類 測(cè)量；測(cè)試;
發(fā)明人 賈曉亮;王凱波 申請(qǐng)（專利權(quán)）人 北京中科信電子裝備有限公司
代理機(jī)構(gòu) 長沙正奇專利事務(wù)所有限責(zé)任公司 代理人 馬強(qiáng)
地址 101111 北京市通州區(qū)光機(jī)電一體化產(chǎn)業(yè)基地興光二街6號(hào)
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明公開了一種四自由度磁場測(cè)量裝置，包括：龍門運(yùn)動(dòng)平臺(tái)模塊（1）、探頭連桿模塊（2）、旋轉(zhuǎn)平臺(tái)模塊（3）。其中龍門運(yùn)動(dòng)模塊（1）由三個(gè)直線運(yùn)動(dòng)平臺(tái)連接而成，可以通過電機(jī)實(shí)現(xiàn)沿X、Y、Z三個(gè)方向的運(yùn)動(dòng)，從而準(zhǔn)確控制探頭的移動(dòng)位置及坐標(biāo)；探頭連桿模塊（2）由連桿底座、連桿、高斯探頭組成。高斯探頭位于連桿前端，可作360°轉(zhuǎn)動(dòng)，以便于測(cè)量磁場的不同分量；旋轉(zhuǎn)平臺(tái)模塊（3）由水平平臺(tái)、旋轉(zhuǎn)臺(tái)組成，旋轉(zhuǎn)臺(tái)用于固定龍門運(yùn)動(dòng)平臺(tái)，其能夠?qū)崿F(xiàn)一定角度的旋轉(zhuǎn)，從而調(diào)整磁測(cè)角度。本發(fā)明涉及磁鐵測(cè)量裝置，隸屬于半導(dǎo)體制造領(lǐng)域。