一種檢測(cè)束流角度的方法

基本信息

申請(qǐng)?zhí)?/td> CN201610589036.7 申請(qǐng)日 -
公開（公告）號(hào) CN108010827B 公開（公告）日 2021-08-27
申請(qǐng)公布號(hào) CN108010827B 申請(qǐng)公布日 2021-08-27
分類號(hào) H01J37/317 分類 基本電氣元件;
發(fā)明人 不公告發(fā)明人 申請(qǐng)（專利權(quán)）人 北京中科信電子裝備有限公司
代理機(jī)構(gòu) 長(zhǎng)沙正奇專利事務(wù)所有限責(zé)任公司 代理人 馬強(qiáng)
地址 101111 北京市通州區(qū)光機(jī)電一體化產(chǎn)業(yè)基地興光二街6號(hào)
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明公開了一種檢測(cè)束流角度的方法，通過三個(gè)組成一排的法拉第來(lái)檢測(cè)束流偏轉(zhuǎn)角度，每個(gè)法拉第中有5個(gè)電流檢測(cè)傳感器，分別是頂部傳感器、左邊傳感器、底部傳感器、右邊傳感器、中心傳感器，其中中心傳感器由其他四個(gè)傳感器包圍。中心傳感器是主要采集束流大小的，其他四個(gè)傳感器是為了檢測(cè)束流偏轉(zhuǎn)方向以及角度而設(shè)計(jì)的，也是用來(lái)檢測(cè)偏轉(zhuǎn)的束流大小。通過這四個(gè)傳感器分別檢測(cè)到的束流值，與中心傳感器檢測(cè)到的束流值進(jìn)行比較，計(jì)算得出束流偏轉(zhuǎn)的方向和角度。簡(jiǎn)單介紹下整個(gè)束流角度測(cè)量的裝置。在法拉第前面是石墨光欄，吸收無(wú)法檢測(cè)到的束流。通過法拉第檢測(cè)到的束流來(lái)判斷束流偏轉(zhuǎn)角度。