一種二自由度電掃描裝置

基本信息

申請?zhí)?/td> CN201810754734.7 申請日 -
公開（公告）號 CN110718432B 公開（公告）日 2022-03-11
申請公布號 CN110718432B 申請公布日 2022-03-11
分類號 H01J37/02（2006.01）I;H01J37/30（2006.01）I;H01J37/317（2006.01）I 分類 基本電氣元件;
發(fā)明人 馬國宇;王錦喆 申請（專利權(quán)）人 北京中科信電子裝備有限公司
代理機(jī)構(gòu) 長沙正奇專利事務(wù)所有限責(zé)任公司 代理人 馬強(qiáng)
地址 101111北京市通州區(qū)光機(jī)電一體化產(chǎn)業(yè)基地興光二街6號
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明公開了一種二自由度電掃描裝置，用于將斑點(diǎn)狀離子束掃描成水平條形發(fā)散離子束，所述裝置包括，基板（1），將電掃描裝置安裝在真空腔體上并具有真空密封作用；左掃描電極（2）與右掃描電極（6）成對使用，分別在兩個掃描電極上施加不同的變化電壓，這樣離子束被水平掃開；通過在抑制電極（4）上施加負(fù)電壓用于阻止二次電子向前傳輸；真空電極（5）用于真空腔室內(nèi)外電壓傳輸，在真空內(nèi)分別連接兩個掃描電極，在大氣端連接掃描電源；驅(qū)動裝置（3）和驅(qū)動裝置（7）可以控制兩個掃描電極相對束流中心做相向運(yùn)動，同時還可以驅(qū)動兩個掃描電極相對基板（1）同時前后移動。