一種分段式等離子體束掃描裝置

基本信息

申請?zhí)?/td> CN201810754776.0 申請日 -
公開（公告）號 CN110718436B 公開（公告）日 2022-03-11
申請公布號 CN110718436B 申請公布日 2022-03-11
分類號 H01J37/317（2006.01）I;H01L21/67（2006.01）I 分類 基本電氣元件;
發(fā)明人 張喻召 申請（專利權(quán)）人 北京中科信電子裝備有限公司
代理機(jī)構(gòu) 長沙正奇專利事務(wù)所有限責(zé)任公司 代理人 馬強(qiáng)
地址 101111北京市通州區(qū)光機(jī)電一體化產(chǎn)業(yè)基地興光二街6號
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明公開了一種分段式等離子體束掃描裝置，包括：前極板、中間極板、后極板、絕緣瓷柱、運(yùn)動軸。三對掃描電極板可以單獨(dú)加獨(dú)立的電壓；三對電極板可以沿運(yùn)動軸方向運(yùn)動，從而控制電極板之間的距離。在離子注入過程中，掃描電極用于將等離子體束流寬帶化。當(dāng)高能離子束通過掃描板時(shí)，可以減小掃描板之間的距離，從而減小所需要的掃描電源的電壓；在低能離子束通過掃描板時(shí)，可以增大掃描板之間的距離，使低能掃描板上電壓不至于太小，減小電壓波動對于離子束注入的影響。本發(fā)明涉及離子注入裝置，隸屬于半導(dǎo)體制造領(lǐng)域。