一種四自由度磁場測試裝置

基本信息

申請?zhí)?/td> CN201710485717.3 申請日 -
公開（公告）號 CN109116274A 公開（公告）日 2021-06-11
申請公布號 CN109116274A 申請公布日 2021-06-11
分類號 G01R33/10;G01R33/12;G05D3/12 分類 測量；測試;
發(fā)明人 賈曉亮;王凱波 申請（專利權）人 北京中科信電子裝備有限公司
代理機構 長沙正奇專利事務所有限責任公司 代理人 馬強
地址 101111 北京市通州區(qū)光機電一體化產業(yè)基地興光二街6號
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明公開了一種四自由度磁場測量裝置，包括：龍門運動平臺模塊（1）、探頭連桿模塊（2）、旋轉平臺模塊（3）。其中龍門運動模塊（1）由三個直線運動平臺連接而成，可以通過電機實現(xiàn)沿X、Y、Z三個方向的運動，從而準確控制探頭的移動位置及坐標；探頭連桿模塊（2）由連桿底座、連桿、高斯探頭組成。高斯探頭位于連桿前端，可作360°轉動，以便于測量磁場的不同分量；旋轉平臺模塊（3）由水平平臺、旋轉臺組成，旋轉臺用于固定龍門運動平臺，其能夠實現(xiàn)一定角度的旋轉，從而調整磁測角度。本發(fā)明涉及磁鐵測量裝置，隸屬于半導體制造領域。