一種離子注入機(jī)中通用可編程的束流驟變監(jiān)測(cè)及響應(yīng)系統(tǒng)
基本信息
| 申請(qǐng)?zhí)?/td> | CN201811284396.1 | 申請(qǐng)日 | - |
| 公開(kāi)（公告）號(hào) | CN111128662B | 公開(kāi)（公告）日 | 2022-05-13 |
| 申請(qǐng)公布號(hào) | CN111128662B | 申請(qǐng)公布日 | 2022-05-13 |
| 分類號(hào) | H01J37/317（2006.01）I;H01J37/304（2006.01）I | 分類 | 基本電氣元件; |
| 發(fā)明人 | 田龍;袁志敏;郭世卿 | 申請(qǐng)（專利權(quán)）人 | 北京中科信電子裝備有限公司 |
| 代理機(jī)構(gòu) | 長(zhǎng)沙正奇專利事務(wù)所有限責(zé)任公司 | 代理人 | - |
| 地址 | 101111北京市通州區(qū)光機(jī)電一體化產(chǎn)業(yè)基地興光二街6號(hào) | ||
| 法律狀態(tài) | - | ||
摘要
| 摘要 | 本發(fā)明公開(kāi)了一種離子注入機(jī)中通用可編程的離子束流驟變監(jiān)測(cè)及響應(yīng)系統(tǒng)，涉及半導(dǎo)體裝備制造領(lǐng)域，尤其涉及離子注入機(jī)中對(duì)離子束流瞬態(tài)變化（Glitch）的監(jiān)測(cè)與響應(yīng)。此系統(tǒng)通過(guò)可編程的硬件架構(gòu)，可快速準(zhǔn)確地捕捉Glitch的發(fā)生，還可與離子注入機(jī)中的劑量控制系統(tǒng)協(xié)同作業(yè)，實(shí)現(xiàn)對(duì)Glitch做出微秒級(jí)別響應(yīng)，以解決離子注入機(jī)中由于Glitch發(fā)生引起的工藝產(chǎn)品失效。 |
