一種雙向聚焦質(zhì)量分析器
基本信息
| 申請(qǐng)?zhí)?/td> | CN201811357795.6 | 申請(qǐng)日 | - |
| 公開（公告）號(hào) | CN111190215B | 公開（公告）日 | 2022-02-15 |
| 申請(qǐng)公布號(hào) | CN111190215B | 申請(qǐng)公布日 | 2022-02-15 |
| 分類號(hào) | G01T1/29（2006.01）I | 分類 | 測(cè)量；測(cè)試; |
| 發(fā)明人 | 張喻召;肖志強(qiáng);李士會(huì) | 申請(qǐng)（專利權(quán)）人 | 北京中科信電子裝備有限公司 |
| 代理機(jī)構(gòu) | 長(zhǎng)沙正奇專利事務(wù)所有限責(zé)任公司 | 代理人 | 馬強(qiáng) |
| 地址 | 101111北京市通州區(qū)光機(jī)電一體化產(chǎn)業(yè)基地興光二街6號(hào) | ||
| 法律狀態(tài) | - | ||
摘要
| 摘要 | 本發(fā)明公開了一種雙向聚焦質(zhì)量分析器，包括：磁軛（1）、磁極（2）、線圈（3）、磁屏蔽板（4）、真空盒（5）。質(zhì)量分析器磁極半徑R為400mm，偏轉(zhuǎn)角度為90°，磁極間距D為50mm，焦距1為83mm，入射角α和出射角β均為27.58°，質(zhì)量分析器的質(zhì)量分辨率為125。磁屏蔽板（4）距離磁極邊界距離為50mm。在離子注入機(jī)上，質(zhì)量分析器的作用是通過加不同的電流，使離子束有不同的運(yùn)動(dòng)軌跡，加上分析光欄后即可對(duì)離子種類進(jìn)行篩選。束流通過雙向聚焦的質(zhì)量分析器后，會(huì)在水平方向與豎直方向分別對(duì)束流產(chǎn)生聚焦作用，在水平方向產(chǎn)生一個(gè)焦點(diǎn)，配合分析光欄篩選離子；在豎直方向也有聚焦作用，減小束流豎直方向發(fā)散度，提高束流的傳輸效率。本發(fā)明涉及離子注入裝置，隸屬于半導(dǎo)體制造領(lǐng)域。 |
