一種用于真空腔體的磁力控制機(jī)構(gòu)

基本信息

申請(qǐng)?zhí)?/td> CN202122367891.2 申請(qǐng)日 -
公開（公告）號(hào) CN216998565U 公開（公告）日 2022-07-19
申請(qǐng)公布號(hào) CN216998565U 申請(qǐng)公布日 2022-07-19
分類號(hào) C23C14/56（2006.01）I;C23C16/44（2006.01）I 分類 對(duì)金屬材料的鍍覆；用金屬材料對(duì)材料的鍍覆；表面化學(xué)處理；金屬材料的擴(kuò)散處理；真空蒸發(fā)法、濺射法、離子注入法或化學(xué)氣相沉積法的一般鍍覆；金屬材料腐蝕或積垢的一般抑制〔2〕;
發(fā)明人 楊星;李長(zhǎng)江;周文彬;徐全軍;王文靜 申請(qǐng)（專利權(quán)）人 蘇州晟成光伏設(shè)備有限公司
代理機(jī)構(gòu) 北京科億知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所（普通合伙） 代理人 -
地址 215000江蘇省蘇州市高新區(qū)銅墩街188號(hào)
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本實(shí)用新型公開了一種用于真空腔體的磁力控制機(jī)構(gòu)，該種用于真空腔體的磁力控制機(jī)構(gòu)包括磁力從動(dòng)機(jī)構(gòu)（1）、密封法蘭（2）、腔壁（3）、密封圈（4）、磁力主動(dòng)機(jī)構(gòu)（5）和兩組磁鐵（6），磁力主動(dòng)機(jī)構(gòu)（5）從腔壁（3）的腔外穿到真空腔內(nèi)，磁力主動(dòng)機(jī)構(gòu)（5）頭部套有密封法蘭（2），所述密封法蘭（2）及密封圈（4）將腔壁（3）上開孔密封，磁力主動(dòng)機(jī)構(gòu)（5）的頭部有固定磁鐵，磁力從動(dòng)機(jī)構(gòu)（1）固定有配合磁鐵，兩機(jī)構(gòu)在密封法蘭（2）兩邊通過磁力線相互作用實(shí)現(xiàn)特定的運(yùn)動(dòng)，實(shí)現(xiàn)真空密封且運(yùn)動(dòng)配合傳動(dòng)。通過上述方式，本實(shí)用新型結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單，安裝拆卸方便，成本低，將腔體外旋轉(zhuǎn)或平移運(yùn)動(dòng)轉(zhuǎn)變?yōu)榍粌?nèi)轉(zhuǎn)動(dòng)、偏轉(zhuǎn)或頂升等運(yùn)動(dòng)。