一種光刻膠灌裝裝置

基本信息

申請?zhí)?/td> CN202020665670.6 申請日 -
公開（公告）號 CN212127491U 公開（公告）日 2020-12-11
申請公布號 CN212127491U 申請公布日 2020-12-11
分類號 B67C3/26(2006.01)I;B67C3/22(2006.01)I 分類 開啟或封閉瓶子、罐或類似的容器；液體的貯運;
發(fā)明人 宋里千 申請（專利權(quán)）人 廈門恒坤新材料科技股份有限公司
代理機構(gòu) 北京力量專利代理事務(wù)所（特殊普通合伙） 代理人 廈門恒坤新材料科技股份有限公司
地址 361000福建省廈門市海滄區(qū)東孚鎮(zhèn)山邊路389號
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本實用新型涉及光刻膠生產(chǎn)技術(shù)領(lǐng)域,尤其涉及一種光刻膠灌裝裝置,包括取膠筒，所述取膠筒沿筒周身一圈設(shè)置有周向分布的儲膠室若干個，儲膠室的出口處設(shè)置有可滑動蓋合所述儲膠室的閘板，取膠筒的頂部設(shè)置有推動油缸，推動油缸的底部輸出端設(shè)置有可上下升降的安裝架，安裝架的底部安裝有負(fù)壓泵，負(fù)壓泵的輸入端設(shè)置有吸取管頭、負(fù)壓泵的輸出端設(shè)置有灌裝管頭，本實用新型解決了光刻膠無法保持定量灌裝涂抹，會影響硅片的產(chǎn)品質(zhì)量的問題，通過本灌裝裝置可以確保每一次定量抽取并灌裝光刻膠的膠液，灌裝過程可持續(xù)進(jìn)行，人工作業(yè)量降低，對生產(chǎn)工藝起到了明顯的促進(jìn)作用，硅片產(chǎn)品的生產(chǎn)質(zhì)量得到提升，適宜推廣使用。??