硬掩膜組合物和硬掩膜及形成圖案的方法

基本信息

申請?zhí)?/td> CN202010087861.3 申請日 -
公開（公告）號 CN111290216A 公開（公告）日 2020-06-16
申請公布號 CN111290216A 申請公布日 2020-06-16
分類號 G03F7/11(2006.01)I 分類 -
發(fā)明人 王靜;肖楠;宋里千 申請（專利權(quán)）人 廈門恒坤新材料科技股份有限公司
代理機構(gòu) 廈門市精誠新創(chuàng)知識產(chǎn)權(quán)代理有限公司 代理人 廈門恒坤新材料科技股份有限公司
地址 361000福建省廈門市海滄區(qū)東孚鎮(zhèn)山邊路389號
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明屬于光刻領(lǐng)域，公開提供了一種硬掩膜組合物和硬掩膜及圖案形成方法。所述硬掩膜組合物含有聚合物以及溶劑，所述聚合物具有化學(xué)式1所示的結(jié)構(gòu)，其中，R1表示氫原子、碳原子為1～6的取代或非取代的烷基或碳原子數(shù)為6～30的取代或非取代的芳基；Ar1和Ar2各自獨立地表示取代或非取代的苯基或萘基；n為1～100的整數(shù)。由本發(fā)明提供的硬掩膜組合物形成的硬掩膜具有高耐熱性和耐刻蝕性。??