聚合物、硬掩膜組合物及形成圖案的方法

基本信息

申請?zhí)?/td> CN201910609647.7 申請日 -
公開（公告）號 CN112194780A 公開（公告）日 2021-01-08
申請公布號 CN112194780A 申請公布日 2021-01-08
分類號 C08G61/12;G03F1/38;G03F1/56 分類 有機高分子化合物；其制備或化學(xué)加工；以其為基料的組合物;
發(fā)明人 王靜;肖楠 申請（專利權(quán)）人 廈門恒坤新材料科技股份有限公司
代理機構(gòu) 北京銀龍知識產(chǎn)權(quán)代理有限公司 代理人 廈門恒坤新材料科技股份有限公司
地址 363118 福建省廈門市海滄區(qū)海滄大道567號廈門中心E座19樓1904室
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明涉及光刻領(lǐng)域，尤其涉及聚合物、硬掩膜組合物及形成圖案的方法。本發(fā)明提供一種聚合物，包括由式(1)所示化合物形成的重復(fù)單元。本發(fā)明還提供一種硬掩膜組合物，包括所述聚合物和溶劑。本發(fā)明中的聚合物由含有高碳含量的咔唑與芘基稠合在一起形成。包含該聚合物的硬掩膜組合物，具有優(yōu)異的耐刻蝕性和熱穩(wěn)定性，可以通過旋涂的方法形成性能良好的硬掩膜。利用所述硬掩膜組合物進行光刻圖案化，簡單方便。