一種禁帶寬度可控的銅鋅錫硫硒薄膜材料的制備方法

基本信息

申請(qǐng)?zhí)?/td> CN201410514152.3 申請(qǐng)日 -
公開（公告）號(hào) CN104393096A 公開（公告）日 2015-03-04
申請(qǐng)公布號(hào) CN104393096A 申請(qǐng)公布日 2015-03-04
分類號(hào) H01L31/18(2006.01)I;H01L31/032(2006.01)I 分類 基本電氣元件;
發(fā)明人 張春江 申請(qǐng)（專利權(quán)）人 上?？苹厶柲芗夹g(shù)有限公司
代理機(jī)構(gòu) 深圳華奇信諾專利代理事務(wù)所（普通合伙） 代理人 上?？苹厶柲芗夹g(shù)有限公司;安科智慧城市技術(shù)（中國）有限公司
地址 200092 上海市虹口區(qū)曲陽路379、383號(hào)四層4024室
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明公開了一種禁帶寬度可控的銅鋅錫硫硒薄膜材料的制備方法，其包括以下步驟：在沉積有背電極層的襯底上制備銅鋅硒合金預(yù)制層；銅鋅錫合金預(yù)制層在具有硫源及硒源的惰性氣氛環(huán)境下進(jìn)行熱處理，得到銅鋅錫硫硒薄膜材料。采用上述方案，本發(fā)明采用同步硫化、硒化法，工藝流程簡單，材料均勻性好，能實(shí)現(xiàn)銅鋅錫硫硒薄膜材料的元素組分精確控制，禁帶寬度可調(diào)，具有很高的市場應(yīng)用價(jià)值。