一種半導(dǎo)體設(shè)備CVD裝置Dome部件清洗保護(hù)治具

基本信息

申請?zhí)?/td> CN202021601090.7 申請日 -
公開（公告）號(hào) CN212665835U 公開（公告）日 2021-03-09
申請公布號(hào) CN212665835U 申請公布日 2021-03-09
分類號(hào) B24C1/08(2006.01)I;B24C9/00(2006.01)I;B24B41/06(2012.01)I;B24B27/033(2006.01)I 分類 磨削；拋光;
發(fā)明人 周毅;張正偉 申請（專利權(quán)）人 安徽富樂德科技發(fā)展股份有限公司
代理機(jī)構(gòu) 銅陵市天成專利事務(wù)所（普通合伙） 代理人 李坤
地址 244000安徽省銅陵市金橋經(jīng)濟(jì)開發(fā)區(qū)
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本實(shí)用新型公開了一種半導(dǎo)體設(shè)備CVD裝置Dome部件清洗保護(hù)治具，包括底座、上托架、支撐螺桿和中間支座，所述上托架通過連接螺桿固定在底座上方，底座上表面設(shè)有凹槽，凹槽內(nèi)設(shè)有支撐螺桿，支撐螺桿一端連接凹槽側(cè)壁，另一端連接凹槽中心位置的中間支座，中間支座上還設(shè)有矩形彈簧，將本治具裝配預(yù)緊完成，然后將Dome從上托架口放入治具內(nèi)至Dome下端接觸矩形彈簧，調(diào)整Dome的下環(huán)面至上托架的裝配槽口內(nèi)，然后在將雙手從上托架1上的兩個(gè)抓取槽中拿出來，這樣Dome就被平穩(wěn)的固定在治具內(nèi)完成下一步的清洗作業(yè)和周轉(zhuǎn)運(yùn)輸。??