一種半導(dǎo)體設(shè)備EPM裝置部件洗凈清洗治具

基本信息

申請?zhí)?/td> CN202020850037.4 申請日 -
公開（公告）號 CN212916940U 公開（公告）日 2021-04-09
申請公布號 CN212916940U 申請公布日 2021-04-09
分類號 B08B13/00 分類 清潔;
發(fā)明人 周伯成;張正偉 申請（專利權(quán)）人 安徽富樂德科技發(fā)展股份有限公司
代理機構(gòu) 銅陵市天成專利事務(wù)所（普通合伙） 代理人 李坤
地址 244000 安徽省銅陵市金橋經(jīng)濟開發(fā)區(qū)
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本實用新型公開了一種半導(dǎo)體設(shè)備EPM裝置部件洗凈清洗治具，包括治具、側(cè)板和石墨棒，所述治具頂部兩端通過卡槽固定有側(cè)板，所述側(cè)板之間設(shè)置有石墨棒，所述側(cè)板一側(cè)設(shè)有管體，所述管體內(nèi)部設(shè)置有一號彈簧，管體一端設(shè)有一號定位銷，所述側(cè)板另一側(cè)通過螺栓固有轉(zhuǎn)動板，所述轉(zhuǎn)動板一側(cè)兩端通過安裝槽安裝有二號定位銷且二號定位銷和轉(zhuǎn)動板之間通過安裝槽安裝有二號彈簧。本實用新型采用治具清洗，可以實現(xiàn)清洗全過程均在治具上操作，可自由清洗石墨棒所有表面，提高清洗效率，節(jié)省人工成本，適合被廣泛推廣和使用。