一種半導體設備EPM裝置部件洗凈清洗治具

基本信息

申請?zhí)?/td> CN202020850037.4 申請日 -
公開（公告）號 CN212916940U 公開（公告）日 2021-04-09
申請公布號 CN212916940U 申請公布日 2021-04-09
分類號 B08B13/00 分類 清潔;
發(fā)明人 周伯成;張正偉 申請（專利權）人 安徽富樂德科技發(fā)展股份有限公司
代理機構 銅陵市天成專利事務所（普通合伙） 代理人 李坤
地址 244000 安徽省銅陵市金橋經(jīng)濟開發(fā)區(qū)
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本實用新型公開了一種半導體設備EPM裝置部件洗凈清洗治具，包括治具、側板和石墨棒，所述治具頂部兩端通過卡槽固定有側板，所述側板之間設置有石墨棒，所述側板一側設有管體，所述管體內(nèi)部設置有一號彈簧，管體一端設有一號定位銷，所述側板另一側通過螺栓固有轉動板，所述轉動板一側兩端通過安裝槽安裝有二號定位銷且二號定位銷和轉動板之間通過安裝槽安裝有二號彈簧。本實用新型采用治具清洗，可以實現(xiàn)清洗全過程均在治具上操作，可自由清洗石墨棒所有表面，提高清洗效率，節(jié)省人工成本，適合被廣泛推廣和使用。