一種激光清洗亞微米級(jí)污染顆粒的方法

基本信息

申請(qǐng)?zhí)?/td> CN202010661745.8 申請(qǐng)日 -
公開（公告）號(hào) CN111790694B 公開（公告）日 2021-07-27
申請(qǐng)公布號(hào) CN111790694B 申請(qǐng)公布日 2021-07-27
分類號(hào) B08B7/00（2006.01）I;G01N21/00（2006.01）I;B01D47/02（2006.01）I 分類 清潔;
發(fā)明人 張正偉;周伯成;王永東;王圣福;劉宇航 申請(qǐng)（專利權(quán)）人 安徽富樂德科技發(fā)展股份有限公司
代理機(jī)構(gòu) 銅陵市天成專利事務(wù)所（普通合伙） 代理人 李坤
地址 244000安徽省銅陵市金橋經(jīng)濟(jì)開發(fā)區(qū)
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明涉及一種激光清洗亞微米級(jí)污染顆粒的方法，利用激光清洗機(jī)器人對(duì)著待清洗工件的表面進(jìn)行激光清洗，清洗效果好，清洗效率高；利用尾氣檢測(cè)和凈化裝置對(duì)激光清洗過程中產(chǎn)生的尾氣進(jìn)行檢測(cè)和凈化，檢測(cè)的誤差小，檢測(cè)的結(jié)果準(zhǔn)確度高，從而避免激光清洗機(jī)器人對(duì)著待清洗工件表面過度清洗或清洗不徹底；同時(shí)，還能夠?qū)す馇逑催^程中產(chǎn)生的尾氣進(jìn)行凈化，凈化效果好，還能夠顯著延長(zhǎng)真空泵的使用壽命，應(yīng)用價(jià)值高。采用一級(jí)凈化器和二級(jí)凈化器能夠有效清除掉尾氣中的顆粒雜質(zhì)，清理效果好。