一種碳化硅晶體缺陷的檢測裝置

基本信息

申請?zhí)?/td> CN202023167935.9 申請日 -
公開（公告）號 CN213986159U 公開（公告）日 2021-08-17
申請公布號 CN213986159U 申請公布日 2021-08-17
分類號 G01N21/01（2006.01）I;G01N21/95（2006.01）I 分類 測量；測試;
發(fā)明人 陳敬楠;張平;鄒宇 申請（專利權(quán)）人 江蘇天科合達(dá)半導(dǎo)體有限公司
代理機(jī)構(gòu) 北京集佳知識產(chǎn)權(quán)代理有限公司 代理人 夏菁
地址 221000江蘇省徐州市經(jīng)濟(jì)技術(shù)開發(fā)區(qū)創(chuàng)業(yè)路26號
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本實(shí)用新型公開了一種碳化硅晶體缺陷的檢測裝置，包括檢測箱體，檢測箱體的箱壁具有遮光功能，檢測箱體中間設(shè)置有豎直布置的透明隔板，透明隔板將檢測箱體分隔成前箱室和后箱室；前箱室內(nèi)設(shè)置有光源和豎直布置的夾具，夾具用于夾持豎直放置的柱狀碳化硅晶體，夾具連接有用于驅(qū)動夾具繞其自身的豎直軸轉(zhuǎn)動的轉(zhuǎn)動部件，光源用于向柱狀碳化硅晶體朝向透明隔板的一側(cè)投射光線，前箱室的頂箱壁和/或側(cè)箱壁為可開合的箱壁結(jié)構(gòu)；后箱室正對透明隔板的一側(cè)箱壁上設(shè)置有觀察窗口。通過使用該檢測裝置進(jìn)行碳化硅晶體缺陷檢測操作，在生產(chǎn)車間或任何其他場景下均能執(zhí)行檢測操作，操作十分方便。