一種卡塞包裝一體化裝置

基本信息

申請?zhí)?/td> CN202022965160.3 申請日 -
公開（公告）號 CN213459666U 公開（公告）日 2021-06-15
申請公布號 CN213459666U 申請公布日 2021-06-15
分類號 H01L21/67（2006.01）I 分類 基本電氣元件;
發(fā)明人 李秀麗;張平;鄒宇 申請（專利權(quán)）人 江蘇天科合達(dá)半導(dǎo)體有限公司
代理機(jī)構(gòu) 北京集佳知識產(chǎn)權(quán)代理有限公司 代理人 陳志海
地址 221000江蘇省徐州市經(jīng)濟(jì)技術(shù)開發(fā)區(qū)創(chuàng)業(yè)路26號
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本實(shí)用新型公開了一種卡塞包裝一體化裝置，包括：機(jī)械手，機(jī)械手上設(shè)置有第一光感定位裝置；卡塞內(nèi)放置有晶圓，卡塞的頂端設(shè)置有第二光感定位裝置，卡塞的底端設(shè)置有第三光感定位裝置；盒底蓋，盒底蓋上設(shè)置有第四光感定位裝置，當(dāng)?shù)谝还飧卸ㄎ谎b置與第二光感定位裝置定位后，機(jī)械手抓取卡塞，使得第三光感定位裝置與第四光感定位裝置定位后，將卡塞放置在盒底蓋上；傾斜平臺，傾斜平臺上設(shè)置有固定位，機(jī)械手將放置有卡塞的盒底蓋放置在固定位上，傾斜平臺上設(shè)置有第五光感定位裝置；盒頂蓋，盒頂蓋上設(shè)置有第六光感定位裝置，機(jī)械手抓取盒頂蓋，使得第五光感定位裝置與第六光感定位裝置定位后，將盒頂蓋蓋合完成卡塞包裝，實(shí)現(xiàn)自動卡塞包裝。