一種碳化硅晶體平面打磨標(biāo)記卡片
基本信息
申請(qǐng)?zhí)?/td> | CN202022954127.0 | 申請(qǐng)日 | - |
公開(kāi)(公告)號(hào) | CN213702777U | 公開(kāi)(公告)日 | 2021-07-16 |
申請(qǐng)公布號(hào) | CN213702777U | 申請(qǐng)公布日 | 2021-07-16 |
分類號(hào) | B24B7/22(2006.01)I;B24B49/04(2006.01)I;B24B55/00(2006.01)I | 分類 | 磨削;拋光; |
發(fā)明人 | 崔鳳磊;張平;鄒宇 | 申請(qǐng)(專利權(quán))人 | 江蘇天科合達(dá)半導(dǎo)體有限公司 |
代理機(jī)構(gòu) | 北京集佳知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司 | 代理人 | 陳志海 |
地址 | 221000江蘇省徐州市經(jīng)濟(jì)技術(shù)開(kāi)發(fā)區(qū)創(chuàng)業(yè)路26號(hào) | ||
法律狀態(tài) | - |
摘要
摘要 | 本實(shí)用新型公開(kāi)一種碳化硅晶體平面打磨標(biāo)記卡片,包括卡片,卡片為環(huán)形圈,卡片內(nèi)環(huán)壁上設(shè)置有第一刻度標(biāo)識(shí)和第二刻度標(biāo)識(shí),第一刻度標(biāo)識(shí)和第二刻度標(biāo)識(shí)的同一水平面上的連線與卡片的內(nèi)圈的第一半徑垂直,卡片的圓心與碳化硅晶體的圓心重合,碳化硅晶體的側(cè)壁上與第一刻度標(biāo)識(shí)對(duì)準(zhǔn)的位置設(shè)置有第一加工標(biāo)識(shí),碳化硅晶體的側(cè)壁上與第二刻度標(biāo)識(shí)對(duì)準(zhǔn)的位置設(shè)置有第二加工標(biāo)識(shí),碳化硅晶體上的第二半徑與第一半徑重合,第一加工標(biāo)識(shí)與第二加工標(biāo)識(shí)的同一水平面上的連線與第二半徑垂直,第一加工標(biāo)識(shí)與第二加工標(biāo)識(shí)的同一水平面上的連線所在豎直面截取的第二半徑的遠(yuǎn)離碳化硅晶體上的圓心的外側(cè)的長(zhǎng)度為2?6mm。使用時(shí)無(wú)需停機(jī),提高了工作效率。 |
