晶圓檢視裝置

基本信息

申請(qǐng)?zhí)?/td> CN202020905124.5 申請(qǐng)日 -
公開（公告）號(hào) CN212303609U 公開（公告）日 2021-01-05
申請(qǐng)公布號(hào) CN212303609U 申請(qǐng)公布日 2021-01-05
分類號(hào) H01L21/67(2006.01)I 分類 基本電氣元件;
發(fā)明人 洪成都;林仲政 申請(qǐng)（專利權(quán)）人 蘇州桔云科技有限公司
代理機(jī)構(gòu) 北京中原華和知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限責(zé)任公司 代理人 壽寧;張琳
地址 江蘇省蘇州市工業(yè)園區(qū)星漢街5號(hào)騰飛新蘇工業(yè)坊A幢411室
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本實(shí)用新型公開了一種晶圓檢視裝置，用以檢視晶圓，其借由非接觸式檢測(cè)器投射光至放置于載臺(tái)上的該晶圓，并借由該非接觸式檢測(cè)器與該晶圓的相對(duì)運(yùn)動(dòng)，以利于該非接觸式檢測(cè)器對(duì)該晶圓進(jìn)行檢視。