晶圓檢視裝置

基本信息

申請?zhí)?/td> CN202020905124.5 申請日 -
公開（公告）號 CN212303609U 公開（公告）日 2021-01-05
申請公布號 CN212303609U 申請公布日 2021-01-05
分類號 H01L21/67(2006.01)I 分類 基本電氣元件;
發(fā)明人 洪成都;林仲政 申請（專利權(quán)）人 蘇州桔云科技有限公司
代理機構(gòu) 北京中原華和知識產(chǎn)權(quán)代理有限責(zé)任公司 代理人 壽寧;張琳
地址 江蘇省蘇州市工業(yè)園區(qū)星漢街5號騰飛新蘇工業(yè)坊A幢411室
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本實用新型公開了一種晶圓檢視裝置，用以檢視晶圓，其借由非接觸式檢測器投射光至放置于載臺上的該晶圓，并借由該非接觸式檢測器與該晶圓的相對運動，以利于該非接觸式檢測器對該晶圓進(jìn)行檢視。