一種空間光波導制備方法

基本信息

申請?zhí)?/td> CN201910629078.2 申請日 -
公開（公告）號 CN110320599B 公開（公告）日 2021-08-24
申請公布號 CN110320599B 申請公布日 2021-08-24
分類號 G02B6/13;G02B6/12 分類 光學;
發(fā)明人 史強;唐強;李坤;周立海 申請（專利權）人 北京魔技納米科技有限公司
代理機構 北京集佳知識產權代理有限公司 代理人 丁曼曼
地址 264000 山東省煙臺市經濟技術開發(fā)區(qū)榮昌路1號
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本申請公開了一種空間光波導制備方法，該方法包括：在待連接的通光口載體之間覆涂光刻膠，識別并設計連接路徑，利用多次螺旋照射光刻膠制備的支撐結構和固化的支撐結構包裹的光刻膠組成的空間光波導，實現(xiàn)空間光波導的制備。本申請的空間光波導制備方法通過光刻膠對照射光能量的非線性吸收效果，促使光刻膠發(fā)生聚合、交聯(lián)反應而固化，可突破衍射極限，實現(xiàn)加工的分辨率小于100納米的任意三維形態(tài)的空間光波導的加工，因此可以實現(xiàn)空間光波導的三維形態(tài)與待連接的通光口尺寸匹配，降低了光波導耦合過程中的損耗，而螺旋加工的支撐結構提升了空間光波導的強度，實現(xiàn)了高質量的大間距器件互連。