一種觀察窗及真空腔室

基本信息

申請?zhí)?/td> CN201821292129.4 申請日 -
公開（公告）號(hào) CN208869655U 公開（公告）日 2019-05-17
申請公布號(hào) CN208869655U 申請公布日 2019-05-17
分類號(hào) C23C14/52（2006.01）I; C23C14/35（2006.01）I 分類 對(duì)金屬材料的鍍覆；用金屬材料對(duì)材料的鍍覆；表面化學(xué)處理；金屬材料的擴(kuò)散處理；真空蒸發(fā)法、濺射法、離子注入法或化學(xué)氣相沉積法的一般鍍覆；金屬材料腐蝕或積垢的一般抑制〔2〕;
發(fā)明人 王偉 申請（專利權(quán)）人 德州易能新能源科技有限公司
代理機(jī)構(gòu) 北京律智知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司 代理人 德州易能新能源科技有限公司;北京暉宏科技有限公司
地址 251200 山東省德州市德州（禹城）國家高新技術(shù)產(chǎn)業(yè)開發(fā)區(qū)理想空間孵化器創(chuàng)業(yè)服務(wù)中心二樓205室
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本公開提供一種觀察窗及真空腔室，涉及真空設(shè)備技術(shù)領(lǐng)域。該觀察窗包括筒體、透明件、氣腔、進(jìn)氣口和出氣口，筒體具有貫通的第一端和第二端；透明件覆蓋于第一端，且與第一端密封配合氣腔設(shè)于筒體的側(cè)壁內(nèi)；進(jìn)氣口設(shè)于筒體的側(cè)壁的外表面，且與氣腔連通；出氣口設(shè)于筒體的側(cè)壁的內(nèi)表面，且與氣腔連通，出氣口位于第二端靠近透明件的一側(cè)。本公開的觀察窗可防止觀察窗內(nèi)壁形成雜質(zhì)的堆積，保證觀察效果。